Спецификация пьезоэлектрических материалов

Пьезоэлектрические материалы (ПЭМ) представляют собой ключевой класс функциональных материалов и подразделяются на три основные категории: кристаллические, керамические и полимерные.

1. Классификация и сравнительный анализ пьезоэлектрических материалов

Наиболее распространёнными видами пьезокерамики являются цирконат-титанат свинца (PZT, ЦТС), титанат бария и титанат свинца. Нитрид галлия и оксид цинка также могут быть отнесены к керамическим материалам благодаря своей широкой запрещенной зоне.

1.1. Неорганические пьезоэлектрические материалы

Полупроводниковые ПЭМ обладают преимуществами, такими как совместимость с интегральными схемами и полупроводниковыми устройствами. Неорганическая пьезокерамика превосходит монокристаллы по технологичности: она проще в изготовлении, позволяет создавать изделия сложных форм и различных размеров, поскольку этот процесс не зависит от кристаллографических направлений.

1.2. Органические полимерные пьезоэлектрические материалы

Органические полимерные ПЭМ, такие как PVDF, имеют низкий модуль Юнга по сравнению с неорганическими аналогами. Пьезополимеры (например, PVDF) превосходят пьезокерамику (такую как PZT) по ключевому для датчиков параметру — пьезоэлектрическому коэффициенту напряжения g₃₃. Его значение для PVDF составляет 240 мВ·м/Н, что более чем в 20 раз выше, чем у PZT (11 мВ·м/Н). Это обуславливает их более высокую эффективность.

Кроме того, гибкость обработки полимеров позволяет легко производить датчики и актуаторы различных форм. Полимеры также демонстрируют высокую прочность, низкую диэлектрическую проницаемость, жесткость и плотность. Это сочетание свойств обеспечивает высокую чувствительность к напряжению и низкий акустический импеданс, что особенно важно для медицинского и подводного оборудования.

1.3. Композитные материалы и современные тенденции

Среди ПЭМ наибольшую популярность имеет керамика PZT благодаря высокой чувствительности и высокому значению g33. Однако она хрупкая и имеет низкую температуру Кюри, что ограничивает применение в условиях высоких температур и агрессивных сред.

Решением стало создание PZT-полимерных композитов, где керамические диски интегрируются в пластиковые промышленные изделия. Эта инновация позволила наладить крупномасштабное производство функциональных композитов с помощью простых процессов, таких как тепловая сварка или формование.

Также ведутся разработки по созданию бессвинцовой пьезокерамики, такой как:

Монокристаллы (например, лангасит)
Сегнетоэлектрическая керамика с перовскитной структурой
Слоистые ферроэлектрики (BLSF)

Отдельное внимание уделяется материалам на основе перовскита: BaTiO₃, (Bi_1/2Na_1/2)TiO₃, (Bi_1/2K_1/2)TiO₃, KNbO₃ и (K, Na)NbO₃.

2. Ключевые пьезоэлектрические свойства

Для оценки и сравнения ПЭМ используется ряд фундаментальных параметров, определяющих их эффективность в различных применениях.

Пьезоэлектрические коэффициенты (d₃₃, d₃₁, d₁₅) измеряют деформацию под действием приложенного напряжения (выражаются в м/В). Высокие коэффициенты d_ij указывают на большее смещение, необходимое для двигательных преобразователей.
- Коэффициент d₃₃ измеряет деформацию в направлении оси поляризации.
- Коэффициент d₃₁ – когда сила приложена перпендикулярно оси поляризации.
- Коэффициент d₁₅ характеризует отклик на сдвиговую деформацию.
Относительная диэлектрическая проницаемость (ε_r) – это отношение абсолютной диэлектрической проницаемости материала к проницаемости вакуума (ε₀).
Коэффициент электромеханической связи (k) – показатель эффективности преобразования электрической энергии в механическую и наоборот. Первый индекс у k обозначает направление нанесения электродов, второй – направление приложения механической энергии.
Механическая добротность (Q_m) – важный параметр для работы пьезокерамики в режиме большой мощности. Она характеризует потери на трение в материале и является величиной, обратной тангенсу угла механических потерь (tan φ).

Single crystals
Reference	Material & heterostructure used for the characterization (electrodes/material, electrode/substrate)	Orientation	Piezoelectric coefficients, d (pC/N)	Relative permittivity, ε_r	Electromechanical coupling factor, k	Quality factor
Hutson 1963^[2]	AlN		d₁₅ = -4.07per	ε₃₃ = 11.4
			d₃₁ = -2
			d₃₃ = 5
Cook et al. 1963^[3]	BaTiO₃		d₁₅ = 392	ε₁₁ = 2920	k₁₅ = 0.57
			d₃₁ = -34.5	ε₃₃ = 168	k₃₁ = 0.315
			d₃₃ = 85.6		k₃₃ = 0.56
Warner et al. 1967^[4]	LiNbO₃ (Au-Au)	<001>	d₁₅ = 68	ε₁₁ = 84
			d₂₂ = 21	ε₃₃ = 30
			d₃₁ = -1		k₃₁ = 0.02
			d₃₃ = 6		k_t = 0.17
Smith et al. 1971^[5]	LiNbO₃	<001>	d₁₅ = 69.2	ε₁₁ = 85.2
			d₂₂ = 20.8	ε₃₃ = 28.2
			d₃₁ = -0.85
			d₃₃ = 6
Yamada et al. 1967^[6]	LiNbO₃ (Au-Au)	<001>	d₁₅ = 74	ε₁₁ = 84.6
			d₂₂ = 21	ε₃₃ = 28.6	k₂₂ = 0.32
			d₃₁ = -0.87		k₃₁ = 0.023
			d₃₃ = 16		k₃₃ = 0.47
Yamada et al. 1969^[7]	LiTaO₃		d₁₅ = 26	ε₁₁ = 53
			d₂₂ = 8.5	ε₃₃ = 44
			d₃₁ = -3
			d₃₃ = 9.2
Cao et al. 2002^[8]	PMN-PT (33%)		d₁₅ = 146	ε₁₁ = 1660	k₁₅ = 0.32
			d₃₁ = -1330	ε₃₃ = 8200	k₃₁ = 0.59
			d₃₃ = 2820		k₃₃ = 0.94
					k_t = 0.64
Badel et al. 2006^[9]	PMN-25PT	<110>	d₃₁ = -643	ε₃₃ = 2560	k₃₁ = -0.73	362
Kobiakov 1980^[10]	ZnO		d₁₅ = -8.3	ε₁₁ = 8.67	k₁₅ = 0.199
			d₃₁ = -5.12	ε₃₃ = 11.26	k₃₁ = 0.181
			d₃₃ = 12.3		k₃₃ = 0.466
Zgonik et al. 1994^[11]	ZnO (pure with lithium dopant)		d₁₅ = -13.3		k_r = 8.2
			d₃₁ = -4.67
			d₃₃ = 12.0
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[001] (single domain)	d₃₃ = 90
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[111] (single domain)	d₃₃ = 224
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[111] neutral (domain size of 100 ľm)	d₃₃ = 235	ε₃₃ = 1984	k₃₃ = 54.4
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[111] neutral (domain size of 60 ľm)	d₃₃ = 241	ε₃₃ = 1959	k₃₃ = 55.9
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[111] (domain size of 22 ľm)	d₃₃ = 256	ε₃₃ = 2008	k₃₃ = 64.7
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[111] neutral (domain size of 15 ľm)	d₃₃ = 274	ε₃₃ = 2853	k₃₃ = 66.1
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[111] neutral (domain size of 14 ľm)	d₃₃ = 289	ε₃₃ = 1962	k₃₃ = 66.7
Zgonik et al. 1994^[12]	BaTiO₃ single crystals	[111] neutral	d₃₃ = 331	ε₃₃ = 2679	k₃₃ = 65.2
^[13]	LN crystal		d₃₁ = -4.5 d₃₃ = -0.27
Li et al. 2010^[14]	PMNT31		d₃₃ = 2000	ε₃₃ = 5100	k₃₁ = 80
Li et al. 2010^[14]	PMNT31		d₃₁ = -750
Zhang et al. 2002^[15]	PMNT31-A		1400	ε₃₃ = 3600
Zhang et al. 2002^[15]	PMNT31-B		1500	ε₃₃ = 4800
Zhang et al. 2002^[15]	PZNT4.5		d₃₃ = 2100	ε₃₃ = 4400	k₃₁ = 83
Zhang et al. 2002^[15]	PZNT4.5		d₃₁ = -900
Zhang et al. 2004^[16]	PZNT8		d₃₃ = 2500	ε₃₃ = 6000	k₃₁ = 89
Zhang et al. 2004^[16]	PZNT8		d₃₁ = -1300
Zhang et al. 2004^[16]	PZNT12		d₃₃ = 576	ε₃₃ = 870	k₃₁ = 52
Zhang et al. 2004^[16]	PZNT12		d₃₁ = -217
Yamashita et al. 1997^[17]	PSNT33			ε₃₃ = 960	/
Yasuda et al. 2001^[18]	PINT28		700	ε₃₃ = 1500	/
Guo et al. 2003^[19]	PINT34		2000	ε₃₃ = 5000	/
Hosono et al. 2003^[20]	PIMNT		1950	ε₃₃ = 3630	/
Zhang et al. 2002^[15]	PYNT40		d₃₃ = 1200	ε₃₃ = 2700	k₃₁ = 76
Zhang et al. 2002^[15]	PYNT40		d₃₁ = -500
Zhang et al. 2012^[21]	PYNT45		d₃₃ = 2000	ε₃₃ = 2000	k₃₁ = 78
Zhang et al. 2003^[22]	BSPT57		d₃₃ = 1200	ε₃₃ = 3000	k₃₁ = 77
Zhang et al. 2003^[22]	BSPT57		d₃₁ = -560
Zhang et al. 2003^[23]	BSPT58		d₃₃ = 1400	ε₃₃ = 3200	k₃₁ = 80
Zhang et al. 2003^[23]	BSPT58		d₃₁ = -670
Zhang et al. 2004^[16]	BSPT66		d₃₃ = 440	ε₃₃ = 820	k₃₁ = 52
Zhang et al. 2004^[16]	BSPT66		d₃₁ = -162
Ye et al. 2008^[24]	BSPT57		d₃₃ = 1150 d₃₁ = -520	ε₃₃ = 3000	k₃₁ = 0.52 k₃₃ = 0.91
Ye et al. 2008^[24]	BSPT66		d₃₃ = 440	ε₃₃ = 820	k₃₁ = 0.52 k₃₃ = 0.88
Ye et al. 2008^[24]	BSPT66		d₃₁ = -162
Ye et al. 2008^[24]	PZNT4.5		d₃₃ = 2000 d₃₁ = -970	ε₃₃ = 5200	k₃₁ = 0.50 k₃₃ = 0.91
Ye et al. 2008^[24]	PZNT8		d₃₁ = -1455	ε₃₃ = 7700	k₃₁ = 0.60 k₃₃ = 0.94
Ye et al. 2008^[24]	PZNT12		d₃₃ = 576 d₃₁ = -217	ε₃₃ = 870	k₃₁ = 0.52 k₃₃ = 0.86
Ye et al. 2008^[24]	PMNT33		d₃₃ = 2820 d₃₁ = -1330	ε₃₃ = 8200	k₃₁ = 0.59 k₃₃ = 0.94
Matsubara et al. 2004^[25]	KCN-modified KNN		d₃₃ = 100 d₃₁ = -180	ε₃₃ = 220-330	k_p = 33-39	1200
Ryu et al. 2007^[26]	KZT modifiedKNN		d₃₃ = 126	ε₃₃ = 590	k_p = 42	58
Matsubara et al. 2005^[27]	KCT modified KNN		d₃₃ = 190	ε₃₃ =	k_p = 42	1300
Wang et al. 2007^[28]	Bi₂O₃ doped KNN		d₃₃ = 127	ε₃₃ = 1309	k_p = 28.3
Jiang et al. 2009^[29]	doped KNN-0.005BF		d₃₃ = 257	ε₃₃ = 361	k_p= 52	45

Ceramics
Reference	Material & heterostructure used for the characterization (electrodes/material, electrode/substrate)	Orientation	Piezoelectric coefficients, d (pC/N)	Relative permittivity, ε_r	Electromechanical coupling factor, k	Quality factor
Berlincourt et al. 1958^[30]	BaTiO₃		d₁₅ = 270	ε₁₁ = 1440	k₁₅ = 0.57
			d₃₁ = -79	ε₃₃ = 1680	k₃₁ = 0.49
			d₃₃ = 191		k₃₃ = 0.47
Tang et al. 2011^[31]	BFO		d₃₃ = 37		k_t = 0.6
Zhang et al. 1999^[32]	PMN-PT		d₃₁ = -74	ε₃₃ = 1170	k₃₁ = -0.312	283
^[33]	PZT-5A		d₃₁ = -171	ε₃₃ = 1700	k₃₁ = 0.34
^[33]	PZT-5A		d₃₃ = 374		k₃₃ = 0.7
^[34]	PZT-5H		d₁₅ = 741	ε₁₁ = 3130	k₁₅ = 0.68	65
			d₃₁ = -274	ε₃₃ = 3400	k₃₁ = 0.39
			d₃₃ = 593		k₃₃ = 0.75
^[35]	PZT-5K		d₃₃ = 870	ε₃₃ = 6200	k₃₃ = 0.75
Tanaka et al. 2009^[36]	PZN7%PT		d₃₃ = 2400	ε_r = 6500	k₃₃ = 0.94 k_t = 0.55
Pang et al. 2010^[37]	ANSZ		d₃₃ = 295	1.61	45.5	84
Park et al. 2006^[38]	KNN-BZ		d₃₃ = 400	2	57.4	48
Cho et al. 2007^[39]	KNN-BT		d₃₃ = 225	1.06	36.0
Park et al. 2007^[40]	KNN-ST		d₃₃ = 220	1.45	40.0	70
Zhao et al. 2007^[41]	KNN-CT		d₃₃ = 241	1.32	41.0
Zhang et al. 2006^[42]	LNKN		d₃₃ = 314	~700	41.2
Saito et al. 2004^[43]	KNN-LS		d₃₃ = 270	1.38	50.0
Saito et al. 2004^[43]	LF4		d₃₃ = 300	1.57
Tanaka et al. 2009^[36]	Oriented LF4		d₃₃ = 416	1.57	61.0
Pang et al. 2010^[37]	ANSZ		d₃₃ = 295	1.61	45.5	84
Park et al. 2006^[38]	KNN-BZ		d₃₃ = 400	2	57.4	48
Cho et al. 2007^[44]	KNN-BT		d₃₃ = 225	1.06	36.0
Park et al. 2007^[40]	KNN-ST		d₃₃ = 220	1.45	40.0	70
Maurya et al. 2013^[45]	KNN-CT		d₃₃ = 241	1.32	41.0
Maurya et al. 2013^[45]	NBT-BT	(001) Textured samples	d₃₃ = 322		…
Gao et al. 2008^[46]	NBT-BT-KBT	(001) Textured samples	d₃₃ = 192
Zou et al. 2016^[47]	NBT-KBT	(001) Textured samples	d₃₃ = 134		k_p= 35
Saito et al. 2004^[43]	NBT-KBT	(001) Textured samples	d₃₃ = 217		k_p = 61
Chang et al. 2009^[48]	KNLNTS	(001) Textured samples	d₃₃ = 416		k_p = 64
Chang et al. 2011^[49]	KNNS	(001) Textured samples	d₃₃ = 208		k_p = 63
Hussain et al. 2013^[50]	KNLN	(001) Textured samples	d₃₃ = 192		k_p = 60
Takao et al. 2006^[51]	KNNT	(001) Textured samples	d₃₃ = 390		k_p = 54
Li et al. 2012^[52]	KNN 1 CuO	(001) Textured samples	d₃₃ = 123		k_p = 54
Cho et al. 2012^[53]	KNN-CuO	(001) Textured samples	d₃₃ = 133		k_p = 46
Hao et al. 2012^[54]	NKLNT	(001) Textured samples	d₃₃ = 310		k_p = 43
Gupta et al. 2014^[55]	KNLN	(001) Textured samples	d₃₃ = 254
Hao et al. 2012^[54]	KNN	(001) Textured samples	d₃₃ = 180		k_p = 44
Bai et al. 2016^[56]	BCZT	(001) Textured samples	d₃₃ = 470		k_p = 47
Ye et al. 2013^[57]	BCZT	(001) Textured samples	d₃₃ = 462		k_p = 49
Schultheiß et al. 2017 ^[58]	BCZT-T-H	(001) Textured samples	d₃₃ = 580
OMORI et al. 1990^[59]	BCT	(001) Textured samples	d₃₃ = 170
Chan et al. 2008^[60]	Pz34 (doped PbTiO₃)		d₁₅ = 43.3	ε₃₃ = 237	k₃₁ = 4.6	700
			d₃₁ = -5.1	ε₃₃ = 208	k₃₃ = 39.6
			d₃₃ = 46		k₁₅ = 22.8
					k_p = 7.4
Lee et al. 2009^[61]	BNKLBT		d₃₃ = 163	ε_r = 766	k₃₁ = 0.188	142
				ε₃₃ = 444.3	k_t = 0.524
					k_p = 0.328
Sasaki et al. 1999^[62]	KNLNTS			ε_r = 1156	k₃₁ = 0.26	80
				ε₃₃ = 746	k_t = 0.32
					k_p = 0.43
Takenaka et al. 1991^[63]	(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃ (BNT)-based BNKT		d₃₁ = 46	ε_r = 650	k_p = 0.27
Takenaka et al. 1991^[63]	(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃ (BNT)-based BNKT		d₃₃ = 150		k₃₁ = 0.165
Tanaka et al. 1960^[64]	(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃ (BNT)-based BNBT		d₃₁ = 40	ε_r = 580	k₃₁ = 0.19
Tanaka et al. 1960^[64]	(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃ (BNT)-based BNBT		d₃₃ = 12.5		k₃₃ = 0.55
Hutson 1960^[65]	CdS		d₁₅ = -14.35
			d₃₁ = -3.67
			d₃₃ = 10.65
Schofield et al. 1957^[66]	CdS		d₃₁ = -1.53
Schofield et al. 1957^[66]	CdS		d₃₃ = 2.56
Egerton et al. 1959^[67]	BaCaOTi		d₃₁ = -50		k₁₅ = 0.19	400
			d₃₃ = 150		k₃₁ = 0.49
					k₃₃ = 0.325
Ikeda et al. 1961^[68]	Nb₂O₆Pb		d₃₁ = -11		k_r = 0.07	11
			d₃₃ = 80		k₃₁ = 0.045
					k₃₃ = 0.042
Ikeda et al. 1962^[69]	C₆H₁₇N₃O₁₀S		d₂₃ = 84		k₂₁ = 0.18
			d₂₁ = 22.7		k₂₂ = 0.18
			d₂₅ = 22		k₂₃ = 0.44
Brown et al. 1962^[70]	BaTiO₃ (95%) BaZrO₃ (5%)				k₁₅ = 0.15	200
			d₃₁ = -60		k₃₁ = 0.40
			d₃₃ = 150		k₃₃ = 0.28
Huston 1960^[65]	BaNb₂O₆ (60%) Nb₂O₆Pb (40%)		d₃₁ = -25		k_r = 0.16
Baxter et al. 1960^[71]	BaNb₂O₆ (50%) Nb₂O₆Pb (50%)		d₃₁= -36		k_r = 0.16
Pullin 1962^[72]	BaTiO₃ (97%) CaTiO₃ (3%)		d₃₁ = -53	ε₃₃ = 1390	k₁₅ = 0.39
			d₃₃ = 135		k₃₁ = 0.17
					k₃₃ = 0.43
Berlincourt et al. 1960^[73]	BaTiO₃ (95%) CaTiO₃ (5%)		d₁₅ = -257	ε₃₃ = 1355	k₁₅ = 0.495	500
			d₃₁ = -58		k₃₁ = 0.19
			d₃₃ = 150		k₃₃ = 0.49
					k_r = 0.3
Berlincourt et al. 1960^[73]	BaTiO₃ (96%) PbTiO₃ (4%)		d₃₁ = -38	ε₃₃ = 990	k₁₅ = 0.34
			d₃₃ = 105		k₃₁ = 0.14
					k₃₃ = 0.39
Jaffe et al. 1955^[74]	PbHfO₃ (50%) PbTiO₃ (50%)		d₃₁ = -54		k_r = 0.38
Kell 1962^[75]	Nb₂O₆Pb (80%) BaNb₂O₆ (20%)		d₃₁ = 25		k_r = 0.20	15
Brown et al. 1962^[70]	Nb₂O₆Pb (70%) BaNb₂O₆ (30%)		d₃₁ = -40	ε₃₃ = 900	k₃₁ = 0.13	350
			d₃₃ = 100		k₃₃ = 0.3
					k_r = 0.24
Berlincourt et al. 1960^[76]	PbTiO₃ (52%) PbZrO₃ (48%)		d₁₅ = 166		k₁₅ = 0.40	1170
			d₃₁ = -43		k₃₁ = 0.17
			d₃₃ = 110		k₃₃ = 0.43
					k_r = 0.28
Berlincourt et al. 1960^[77]	PbTiO₃ (50%) lead Zirconate (50%)		d₁₅ = 166		k₁₅ = 0.504	950
			d₃₁ = -43		k₃₁ = 0.23
			d₃₃ = 110		k₃₃ = 0.546
					k_r = 0.397
Egerton et al. 1959^[67]	KNbO₃ (50%) NaNbO₃ (50%)		d₃₁ = -32			140
			d₃₃ = 80		k₃₁ = 0.21
					k₃₃ = 0.51
Brown et al. 1962^[70]	NaNbO₃ (80%) Cd₂Nb₂O₇ (20%)		d₃₁ = -80	ε₃₃ = 2000	k₃₁ = 0.17
			d₃₃ = 200		k₃₃ = 0.42
					k_r = 0.30
Schofield et al. 1957^[66]	BaTiO₃ (95%) CaTiO₃ (5%) CoCO₃ (0.25%)		d₃₁ = -60	ε₃₃ = 1605	k_r = 0.33
Pullin 1962^[72]	BaTiO₃ (80%) PbTiO₃ (12%) CaTiO₃ (8%)		d₃₁ = -31		k₃₁ = 0.15	1200
			d₃₃ = 79		k₃₃ = 0.41
					k_r = 0.24
Defaÿ 2011^[78]	AlN (Pt-Mo)		d₃₁ = -2.5
Shibata et al. 2011^[79]	KNN(Pt-Pt)	<001>	d₃₁ = -96.3	ε_r = 1100
Shibata et al. 2011^[79]	KNN(Pt-Pt)	<001>	d₃₃ = 138.2
Sessler 1981^[80]	PVDF		d₃₁ = 17.9		k₃₁ = 10.3
			d₃₂ = 0.9		k₃₃ = 12.6
			d₃₃ = -27.1
Ren et al. 2017^[81]	PVDF		d₃₁ = 23	ε_r = 106
			d₃₂ = 2
			d₃₃ = -21
Tsubouchi et al. 1981^[82]	Epi AlN/Al₂O₃	<001>	d₃₃ = 5.53	ε₃₃ = 9.5	k_t = 6.5	2490

3. Ассортимент предлагаемых материалов

В нашем распоряжении – сотни видов пьезоэлектрических материалов. Вне зависимости от ваших требований – нужен ли вам мягкий (PZT-5A, PZT-5H) или твердый материал (PZT-4, PZT-8 серии) – у нас есть все необходимое.

Пьезоэлектрические материалы: свойства и классификация

Пьезоэлектрические материалы: свойства и классификация

Спецификация пьезоэлектрических материалов

1. Классификация и сравнительный анализ пьезоэлектрических материалов

1.1. Неорганические пьезоэлектрические материалы

1.2. Органические полимерные пьезоэлектрические материалы

1.3. Композитные материалы и современные тенденции

2. Ключевые пьезоэлектрические свойства

3. Ассортимент предлагаемых материалов

Пьезоэлектрические материалы: свойства и классификация

Спецификация пьезоэлектрических материалов

1. Классификация и сравнительный анализ пьезоэлектрических материалов

1.1. Неорганические пьезоэлектрические материалы

1.2. Органические полимерные пьезоэлектрические материалы

1.3. Композитные материалы и современные тенденции

2. Ключевые пьезоэлектрические свойства

3. Ассортимент предлагаемых материалов

Related products